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　　近日，由北京中科科仪股份有限公司起草，TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口的国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 第4部分：涡轮分子泵》征求意见稿已编制完成，现公开征求意见。
 

　　涡轮分子泵是利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的一种真空泵。具有启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空等优点，广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器、真空镀膜、半导体制造、航空航天、医疗设备和光学仪器等需要获得高真空度制造工艺中。
 

　　本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。
 

　　原有的真空泵标准体系中，对某些种类真空泵性能参数的测量提出了各自的要求，测量装置和性能测量方法等内容多有重复，且表述不清晰。特定真空泵标准的制定以总体要求为基础，依据各自的特性来测定性能数据、极限值和特定运行条件。当特定真空泵的测量方法与总体要求存在差异时，以特定标准为准。GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》旨在从真空泵性能共性和特性的角度提出标准测量方法，即总体要求和特定真空泵标准，拟由六个部分构成。
 

　　——第 1 部分：总体要求。旨在提供一份用于测量真空泵性能参数的基础文件，简化了今后对特定真空泵标准的制定。包含了三种体积流率的测量方法，以及真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的测量方法。
 

　　——第 2 部分：容积真空泵。旨在以总体要求为基础，对容积真空泵的性能测量标准方法加以补充，包含了容积真空泵的体积流率、基础压力、水蒸气容限、功耗和最低启动温度的测量方法。
 

　　——第 3 部分：机械增压泵的特定参数。旨在描述机械增压泵的最大容许压差、有效压缩比、零流量压缩比和溢流阀压差的测量方法和特殊要求。
 

　　——第 4 部分：涡轮分子泵。旨在描述了以流量法和小孔法测量体积流率的测量方法和测量装置，以及最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方法和测量装置。
 

　　——第 5 部分：非蒸散型吸气剂泵。旨在以总体要求为基础，对非蒸散型吸气剂泵的性能测量标准方法加以补充。
 

　　——第 6 部分：低温真空泵。旨在以总体要求为基础，对低温真空泵的性能测量标准方法加以补充。
 

　　本文件是GB/T 40344《真空技术 真空泵性能测量标准方法》的第4部分。
 

　　本标准是等同采用 ISO 21360-4：2018《Vacuum technology─Standard methods for measuring vacuum-pump performance─ Part 4:Turbomolecular vacuum pumps》
 

　　本标准是在 GB/T 40344.1 的基础上，规定了涡轮分子泵的性能测量方法和测量装置。标准中规定了以流量法和小孔法测量体积流率的步骤和装置，最大流量、临界前级压力、压缩比、基础压力、振动等参数的测量方法和测量装置。
 

　　本标准适用于所有规格和型式的涡轮分子泵。包括：带机械轴承或磁轴承的涡轮分子泵、带或不带附加牵引级的或其它转子抽气级的涡轮分子泵、带一个或多个进气口的涡轮分子泵。
 

　　本标准的制定进一步推进真空泵产业结构的优化升级，推动我国涡轮分子泵先进装备制造技术的快速发展和质量提升。本标准的发布实施不仅能规范涡轮分子泵的性能要求，为设计、制造、检测和应用提供指导和技术依据，规范涡轮分子泵产业的有序发展，促进产业结构调整与优化升级。亦能通过规范涡轮分子泵的性能参数和测量规则，实现国内外涡轮分子泵产品以及应用领域的技术比对，为使用者在综合考虑国内外产品性能时，提供指导依据。